电磁阀阀芯检

更新时间：2014-04-10

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一、电磁阀阀芯检漏原因:

　　由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品zui终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.

　　二、电磁阀阀芯检漏方法

　　大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,zui后用氦气质谱检漏仪做zui后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.

　　三、电磁阀阀芯检漏操作说明

　　1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.

　　2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.

　　3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.

　　4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成.